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日本As-one晶圆载体KT-3003/ZM-G1G/NDK-1K/KY−636
发布时间：2025-06-19
日本As-one晶圆载体KT-3003/ZM-G1G/NDK-1K/KY−636
特徴
フタ・本体間の遮断を2重化し、パーティクルの進入を防止します。
主要部分には導電化材料を使用しています。
本体とトップフランジ部の取り付け部分を補強しています。
型番：KT-3003 ウェハー径（mm）：300 収納枚数：26枚 D1寸法：44mm 溝ピッチ：10mm SEMI規格準拠 仕様
荷姿サイズ：405×495×415 mm 5.9 kg
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