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日本Vacuum Device磁控溅射装置VD-MSP-MINI-AU
发布时间：2026-03-06
日本Vacuum Device磁控溅射装置VD-MSP-MINI-AU
装置概要
この装置は電子顕微鏡観察用オスミウムコーティング装置です。タッチパネルとシーケンサー制御を搭載し、誰でも簡単に全自動で試料の導電成膜処理を行うことが可能です。
SEM、TEM用のオスミウムコーティング装置です。粒径が細かく回り込み性に優れているため、高倍率観察用途や、複雑形状の試料に効果的です。また、極薄膜のOs導電コーティングにより、EBSD分析、オージェ分析、X線分析にも応用されます。
ホローカソード試料台を採用し、低電圧放電でコーティングを行うため試料ダメージがほとんどありません。ホローカソード内は一様な高密度プラズマが発生するため、試料の高さに関係なく、円筒内に置かれた試料表面には一様な厚さのOs膜が形成されます。
オスミウムガスはホローカソード内に必要量だけ注入されますので消費量が少なく、未反応のガスは活性炭トラップで吸着除去し、大気中への有害ガス放出を抑えております。
商品は、装置本体、ロータリーポンプ、SUS製フレキシブルホース、高密度活性炭トラップ、和光純薬社製四酸化オスミウムアンプル（０．５ｇ入り）がセットになっております。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。
また、この装置はオスミウムを扱うため定期的なメンテナンスを必要とします。詳細はお問い合わせください。
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